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- 產(chǎn)品描述
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技術特點
●同時支持深切緩進給(Creep- -Feed)和軸向進給(In- Feed)磨削原理;
●可選配全自動上下料系統(tǒng)，設備可由自動減薄設備變?yōu)槿詣訙p薄設備;
●GPP行業(yè)應用優(yōu)勢明顯;
●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圓UPH可達360pcs/h;
●節(jié)省空間的設計，占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比。
性能指標自動減薄機
GR-6110
最大加工物尺寸
Φ156mm
主軸
主軸數(shù)量
1
輸出功率
7.5KW
轉速
1000-6000rpm
Z軸
行程
120mm
進給速度
0.00001~0.08mm/s
最大返回速度
50mm/s
分辨率
0.1pm
承片臺數(shù)量
4 (可定制)
工作臺轉速
0-20rpm
減薄精度
片內(nèi)厚度偏差
<5μm
片間厚度偏差
<±5μm
表面粗糙度Ra
<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
測量儀
測量范圍
不適用
分辨率
重復精度
其他規(guī)格
夕卜形尺寸(WxDxH)
750mmx1350mmx1750mm
設備重量
≈2000 kg
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